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顯微式激光多普勒測振儀LV-S01-M
顯微式激光多普勒測振儀系統(tǒng)介紹：
顯微式激光測振儀LV-S01-M是在單點式激光測振儀系統(tǒng)基礎(chǔ)上結(jié)合顯微鏡升級的激光測振系統(tǒng)，通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實現(xiàn)對微小物體的振動測量，可以準(zhǔn)確測量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動和形貌，激光光斑達微米量級；顯微式激光測振儀并可通過顯微成像系統(tǒng)實時觀察物體的振動狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）以及可通過白光干涉測量物體形貌特征等多維信息。
顯微式激光測振儀技術(shù)指標(biāo)如下：
顯微式激光多普勒測振儀LV-S01-M | |
工作溫度 | 3℃-45℃ |
工作濕度 | <90% |
電 源 | 220-240Vrms，50~60Hz |
激光波長 | He-Ne Laser 632.8nm |
激光安全等級 | Class II |
速度量程 | 10m/s |
輸出電壓 | ±10V |
頻率范圍 | DC-3MHz |
濾波設(shè)置 | 高通，低通濾波設(shè)置 |
最大線性誤差 | 1% |
機 架 | 反射用機架，低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。 粗調(diào)行程25mm，微調(diào)精度0.001mm。 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。 內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)。 |
光學(xué)參數(shù) | 檢測器尺寸：1/2；測量距離：9mm（使用10X物鏡時） |
觀測裝置 | CMOS數(shù)碼相機：320萬像素（USB2.0） |
速度分辨率 | 高于0.01μm?s-1/Hz |
位移分辨率 | 高于15pm |
速度解碼器 | VD-16數(shù)字速度解碼器 |
位移解碼器 | DD-16數(shù)字位移解碼器、DD-21數(shù)字位移解碼器 |
顯微式激光多普勒測振儀系統(tǒng)功能特點：
? 非接觸測量，無負載；
? 激光光斑很小，微米級；
? 高空間分辨率；
? 工作距離可選；
? 高靈活性、易安裝、易操作；
? 振動傳感器結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定、抗沖擊強、測量精度高；
? 配有同軸照明裝置和相機，可以方便迅速地確定測量位置。
顯微式激光測振儀的部分應(yīng)用場景：
? 微機電系統(tǒng)（MEMS）動態(tài)測試；
? 醫(yī)學(xué)/動物學(xué)研究，如昆蟲等生物活體的振動特性測量；
? 計算機外設(shè)的動態(tài)測試：硬盤驅(qū)動器/光盤機/磁帶機等；
? 超聲振動測量；
? 壓電陶瓷振動測量；
? 弦線/絲線振動特性測量；
? 微型陀螺儀振動測量。
顯微式激光測振儀尺寸圖如下：
在顯微式單點激光測振儀基礎(chǔ)上結(jié)合掃描式激光測振儀可以升級為顯微掃描式全場激光測振儀，
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